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TMC主动隔振系统

更新时间:2019-01-30

简要描述:

TMC主动隔振系统
TMC的QuietIsland®是一种创新的解决方案,用一个固定在下面的地板上的“ Quiet Island®"来取代部分高架地板。

TMC主动隔振系统-Quiet Island®

半导体制造工厂(fabs),纳米技术中心,Nanofabs以及其他精密制造和研究机构通常将洁净室与一个浮动地板系统结合起来以适应复杂的设施要求(管道,电缆,气体管道等)并保持严格清洁标准。这种地板对安装对振动敏感的生产,检验和计量设备提出了挑战。高架地板无法为这类工具提供必要的安静振动环境。

TMC主动隔振系统QuietIsland®是一种创新的解决方案,用一个固定在下面的地板上的“ Quiet Island®”来取代部分高架地板。 Quiet Island®由洁净室兼容的平台顶部和专用的支撑结构组成特殊平台。

振动消除

 Quiet Island®特有的主要支撑元件和核心技术是STACIS®III主动振动消除系统。这种 “rigid”式振动消除支持系统对于任何对振动敏感的仪器来说都是至关重要的,从而使这些仪器能够在嘈杂的环境中达到高标准。 STACIS®III与自动晶圆处理设备,高分辨率eBeam成像设备,离子束铣削设备以及任何带有内部隔振系统的设备兼容,无论是被动式还是主动式(see our white paper on stacking active on active isolators)。另外,它可以在市场上广泛的频率范围内提供大的振动隔离。而且,"hard-mount"设计非常坚硬,因此对于高大而重量级的工具而言,不存在稳定性问题。

支腿和支撑

TMC经验丰富的工程团队设计出极其坚固耐用的支腿来支撑STACIS主动隔振系统,并通过ISO 9001工厂制造高标准和焊接认证。每个Quiet Island®都经过精心设计,以适应各种活动地板高度,次地板几何形状和设备外形。数以千计的装置支持200多种不同的仪器,TMC拥有设计满足STACIS和您的设施需求的支撑结构的丰富经验。

刚性平台

平台是由TMC设计并生产的夹着轻质、不可压缩的阻尼核心材料的钢制4inch薄板。由坚硬的钢板、核心以及环氧树脂粘合成的具有夹层效果的不锈钢钢板使产品具有极高的硬度和结构阻尼。大面积的横截面和含钢量使整体硬度达到一个较高等级。平台顶面和边缘是

连续的整块的不锈钢外壳,用来保持其净度、外观和完整性。

 

For vibration isolation specification see STACIS® III.

Platform surface

Stainless steel surface top and sides;
epoxy painted steel bottom

Platform construction

Proprietary multi-layer steel laminate

Dimensions

Build to suit

Standard heights

15, 18, 20, 24, 30, 36, 48 in.
38, 46, 51, 61, 76, 91, 122 cm
Custom heights also available

Load capacity

Build to suit

Rigid risers and supports

Certified welding, all-steel construction,
cleanroom compatible powdercoat finish

Options

Restraint brackets, platform top eyebolts for lifting,
bridge plates for waffle-type subfloors

Platform top variations

Cutouts, thru-holes, tapped holes for tool tie-downs

 

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