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TMC压电气浮综合性主动隔振系统

更新时间:2019-01-30

简要描述:

TMC压电气浮综合性主动隔振系统
LaserTable-Base在光学平台所能实现的振动隔离量方面比现有技术提供了非凡的改进。

TMC压电气浮综合性主动隔振系统-LaserTable-Base™

LaserTable-Base™在光学平台所能实现的振动隔离量方面比现有技术提供了非凡的改进。

通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。尽管在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上会在1至3 Hz的关键频率范围内放大振动。

TMC的STACIS®技术通过采用压电陶瓷制动装置和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,以消除而不是放大甚低频振动。 LaserTable-Base™将这两种技术(气浮和STACIS®)设计为一个完整的综合除振系统。其结果是在非常低的频率下实现了振动抵消,并且由于两个串联的隔离系统的综合作用,使得高频隔离达到的水平。

TMC压电气浮综合性主动隔振系统LaserTable-Base™的上部气动部分是模块化和可互换的。它可以结合TMC的GimbalPiston®空气隔离器,MaxDamp®空气隔离器,甚至是刚性非隔离支撑件,具体取决于应用要求。LaserTable-Base™在光学平台所能实现的振动隔离量方面比现有技术提供了非凡的改进。

通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。尽管在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上会在1至3 Hz的关键频率范围内放大振动。

TMC的STACIS®技术通过采用压电陶瓷制动装置和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,以消除而不是放大甚低频振动。 LaserTable-Base™将这两种技术(气浮和STACIS®)设计为一个完整的综合除振系统。其结果是在非常低的频率下实现了振动抵消,并且由于两个串联的隔离系统的综合作用,使得高频隔离达到的水平。

LaserTable-Base™的上部气动部分是模块化和可互换的。它可以结合TMC的GimbalPiston®空气隔离器,MaxDamp®空气隔离器,甚至是刚性非隔离支撑件,具体取决于应用要求。

特点

1、采用STACIS®技术

2、主动内部振动消除系统

3、振动消除起始于1nm

4、6自由度

5、由两个串联隔离系统组成,可实现大的隔振效果

6、包含获得的MaxDamp®气浮隔离装置

7、包含TMC的DC-2000数字控制器

 

2,000 lbs (907 kg) payload tested with simulated vibration at VC-A (2,000 μin./s, 50 μm/s)

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